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掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī) 光刻膠處理系統(tǒng)

對(duì)準(zhǔn)設(shè)備 晶圓鍵合機(jī) 直接鍵合設(shè)備 臨時(shí)鍵合/解鍵合 金屬鍵合設(shè)備

UV-NIL/SmartNIL紫外壓印 納米壓印母版制作系統(tǒng)

Thetametrisis膜厚儀 光學(xué)相干斷層掃描 全自動(dòng)同質(zhì)膜厚測(cè)量系統(tǒng) 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

Herz TDI氣浮式被動(dòng)防震臺(tái) Herz AVI系列主動(dòng)防震臺(tái) Herz 電鏡隔振臺(tái) DAEIL DVIA-T主動(dòng)防振臺(tái) Stefan Mayer主動(dòng)消磁系統(tǒng)

硅片厚度測(cè)量?jī)x 半自動(dòng)晶圓厚度測(cè)量

FSM應(yīng)力儀 ilis應(yīng)力儀

白光干涉儀 彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀 白光干涉+共聚焦一體機(jī) 晶圓形貌和參數(shù)檢測(cè)

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全自動(dòng)AOI系統(tǒng) 雙2D AOI系統(tǒng) LAZIN

微波等離子清洗

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Microsense 位移傳感器