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全自動帶顯微鏡多點測量

簡要描述：FR-Mic 多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案，可以將光斑縮小到幾個微米，進而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征。

  • 產(chǎn)品型號：FR-Mic
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時間：2024-03-19
  • 訪  問  量： 5206

詳細介紹

　　FR-Mic多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案，可以將光斑縮小到幾個微米，進而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺專用計算機控 制的 XY 工作臺，使其快 速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學特性 。也可以搭配自動平臺測量 400x400mm 大小樣品。
　　Thetametrisis利用 FR-Mic，通過紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對局部區(qū)域薄膜厚度，厚度映射，光學常數(shù)，反射率，折射率及消光系數(shù)進行測量。
　　【相關應用】
　　高校 & 研究所實驗室
　　半導體制造 (氧化物/氮化物， 硅膜, 光刻膠及其他半導體薄膜.)
　　MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)
　　LEDs, VCSELs 多層膜測量應用
　　數(shù)據(jù)存儲
　　陽極處理氧化膜
　　曲面基底的硬化涂層
　　聚合物膜層, 粘合劑.
　　生 物醫(yī)學(聚對二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)
　　OEM或客制化應用
　　【特點】
　　實時光譜測量
　　薄膜厚度，光學特性，非均勻性測量， 厚度映射
　　使用集成 USB 高品質(zhì)彩色攝像機進行成像 (所視即所測)

【技術參數(shù)】


　　*測量面積(收集反射或透射信號的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關。
　　【工作原理】


　　1、規(guī)格如有更改，恕不另行通知；
　　2、測量結(jié)果與校準的光譜橢偏儀和 XRD 相比較,
　　3、連續(xù) 15 天測量的標準方差平均值。樣品：(1um SiO2 on Si.) ,
　　4、100 次厚度測量的標準方差，樣品：1um SiO2 on Si.
　　5、超過 15 天的標準偏差日平均值樣品：1um SiO2 on Si。
　　6、使用反射式物鏡。





 

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