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EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng) 應(yīng)用:用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級(jí)襯底鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng)

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  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-03-19
  • 訪  問(wèn)  量: 1851

詳細(xì)介紹

EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)應(yīng)用:用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級(jí)襯底鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng)

一、簡(jiǎn)介

       EVG810 LT (LowTemp™)低溫等離子活化系統(tǒng)是一個(gè)獨(dú)立單腔室系統(tǒng),具有手動(dòng)操作功能。 處理室允許非原位處理(晶片一個(gè)接一個(gè)地激 活并且鍵合在等離子體活化室外部)。

二、特征

      用于低溫鍵合的表面等離子體活化(熔合/分子和中間層鍵合)

      任何晶圓鍵合機(jī)制的快動(dòng)力學(xué)

      無(wú)需濕法工藝

      低溫退火時(shí)的高鍵合強(qiáng)度(高400°C)

      適用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和先進(jìn)封裝

      高度的材料兼容性(包括CMOS)

三、參數(shù)

       1.晶圓尺寸:50-200mm,100-300mm

       2.低溫等離子活化腔:

        工藝氣體:2種標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體(N2和O2)

        通用大流量控制器:自校準(zhǔn)(高達(dá)20.000 sccm)

        真空系統(tǒng):0.09 mbar

        打開/關(guān)閉腔室:自動(dòng)化

        裝載/卸載腔室:手動(dòng)(晶圓/基板放置在裝載銷上)

       3.備選功能:

        用于不同的晶圓尺寸的夾頭

        金屬離子激 活

        帶有氣體混合的附加工藝氣體

        帶渦輪泵的高真空系統(tǒng):0.009 mbar的基礎(chǔ)氣壓

       4.符合LowTemp™等離子活化鍵合的材料系統(tǒng)

        Si:Si / Si,Si / Si(熱氧化,Si(熱氧化)/ Si(熱氧化)

        TEOS / TEOS(熱氧化)

        絕緣體鍺(GeOI)的Si / Ge

        硅/Si3N4

        玻璃(無(wú)堿浮法):硅/玻璃,玻璃/玻璃

        化合物半導(dǎo)體:GaAs,GaP,InP

        聚合物:PMMA,環(huán)烯烴聚合物

        用戶可以針對(duì)上述內(nèi)容和其他材料使用“佳已知方法”配方(可根據(jù)要求提供完整列表)

 

 

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