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EVG在東京大學為化合物半導體研究安裝低溫等離子體活化系統(tǒng)

更新時間:2022-03-11  |  點擊率:1331

        EV集團(EVG,岱美儀器供應(yīng)商)是面向MEMS,納米技術(shù)和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設(shè)備的領(lǐng)仙供應(yīng)商,今天宣布已收到東京大學的EVG810LT等離子活化訂單化合物半導體研究系統(tǒng)。EVG810LT安裝在大學的Takagi&Takenaka實驗室,增強了實驗室的研究重點,該研究致力于使用絕緣體III-V(III-V-OI)和絕緣體鍺開發(fā)新穎的MOSFET和電子光子集成電路(EPIC) (GeOI)基板。這些先進的材料襯底旨在超越常規(guī)硅半導體和硅光子學的性能,在這些襯底中,III-V類材料(如磷化銦(InP),砷化銦鎵(InGaAs)和鍺結(jié)合到硅晶片上。EVG810LT使用等離子活化晶片表面以進行低溫直接晶片鍵合,并已被其他客戶用于絕緣體上硅(SOI)晶片和背面照明CMOS圖像傳感器的大批量生產(chǎn)。

       高木大學副教授Mitsuru Takenaka博士說:“半導體器件的小型化已達到其物理極限,并且根據(jù)摩爾定律的縮小晶體管(縮放比例)不足以滿足未來對LSI器件更高性能的需求。”和東京大學竹中實驗室。“在摩爾定律結(jié)束后,具有將III-V化合物半導體或鍺自由堆疊在硅半導體上的3D集成電路有望成為提高LSI性能的突破之一。為了支持我們的努力,我們采用了EV Group的等離子活化技術(shù)EVG810LT系統(tǒng)可幫助我們實現(xiàn)更低的溫度和高質(zhì)量的晶圓鍵合。”

       EV Group Japan KK的代表董事山本博(Hiroshi Yamamoto)在評論今天的宣布時說:“我們?yōu)橹С謻|京大學最仙進的LSI器件研究而選擇我們的系統(tǒng)非常榮幸。The Takagi&Takenaka的創(chuàng)新成果預計實驗室將解決半導體行業(yè)當前面臨的基本問題,基于我們公司“發(fā)明,創(chuàng)新和實施”的Triple-i理念,EV集團一直與活躍于先進領(lǐng)域的大學和研發(fā)機構(gòu)合作。將繼續(xù)為高木和竹中實驗室提供成功進行前沿研究所需的技術(shù)支持。

       物聯(lián)網(wǎng)(IoT),大數(shù)據(jù)和人工智能(AI)的出現(xiàn)推動了對功耗更低,性能更高且功能更強大的電子設(shè)備的新一波需求。為了滿足這一需求,半導體行業(yè)正在評估將新材料與超越純硅基晶片的硅結(jié)合起來的好處。這一轉(zhuǎn)變?yōu)榛衔锇雽w的未來市場增長以及更有效的制造技術(shù)實現(xiàn)最大終端設(shè)備性能鋪平了道路。例如,金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)工藝(其中通過異質(zhì)外延生長在基板上沉積II-VI或III-V材料的薄膜)會導致不一致的晶圓形成。這損害了晶片表面的完整性,并最終影響了終端設(shè)備的性能。具有等離子活化的直接晶圓鍵合是一種有前途的解決方案,能夠?qū)崿F(xiàn)不同材料的異質(zhì)集成并實現(xiàn)高質(zhì)量的工程襯底。

       EVG將在12月13日至15日在日本東京的東京Bit Sight-東京國際展覽中心舉行的SEMICON Japan展覽會上展示EVG810LT系統(tǒng)等離子活化系統(tǒng)。有興趣了解有關(guān)EVG光刻和晶圓鍵合解決方案套件更多信息的與會人員將參觀公司的5238號展位。

等離子激活系統(tǒng)EVG810LT

關(guān)于東京大學

       東京大學成立于1877年,是日本第一所國立大學。東京大學是一所領(lǐng)仙的研究型大學,基本上提供本科和研究生級別的所有學科的課程,并在整個學術(shù)活動中進行研究。該大學旨在為學生提供豐富多樣的學術(shù)環(huán)境,以確保他們既有智力發(fā)展機會,又有專業(yè)知識和技能的學習機會。

關(guān)于EV集團(EVG)

       EV Group(EVG)是制造半導體,微機電系統(tǒng)(MEMS),化合物半導體,功率器件和納米技術(shù)器件的設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商。是岱美儀器的主要供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,薄晶圓處理,光刻/納米壓印光刻(NIL)和計量設(shè)備,以及光刻膠涂布機,清潔劑和檢查系統(tǒng)。EV Group成立于1980年,為精致的客戶和合作伙伴提供服務(wù)并提供支持。

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